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24-Station Spin Coater Barrier Coating réduire les perles de bord et anti-contamination pour les lignes de semi-conducteurs
Détails sur le produit:
| Lieu d'origine: | Chine |
| Nom de marque: | OSMANUV |
| Certification: | ISO9001 |
| Numéro de modèle: | Spécification |
Conditions de paiement et expédition:
| Quantité de commande min: | 1 ensemble |
|---|---|
| Prix: | Négociable |
| Détails d'emballage: | Emballage en bois |
| Délai de livraison: | 30-45 jours |
| Conditions de paiement: | T/T |
| Capacité d'approvisionnement: | Négociation |
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Détail Infomation |
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| Marque d'onduleur: | Schneider | Emballage: | Caisse en bois standard |
|---|---|---|---|
| Méthode d'alimentation: | En bas, le côté est facultatif | Station de travail: | 24 |
| Largeur du produit maximum: | 500 mm | Version: | 2.0 |
| Dimension: | Comme exigence du client | Marque de fréquence: | Shilin ou Schneider |
| Mettre en évidence: | Revêtement semi-conducteur de coucheuse de rotation à 24 stations,réduction des perles de bord de coucheuse de rotation,machine de revêtement anti-contamination de moulage de pâte |
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Description de produit
Revêtement barrière Spin Coater à 24 stations | Réduction des perles de bord et anti-contamination pour les lignes de semi-conducteurs
CeRevêtement barrière par spin coater à 24 stationsest formulé pour former uncouche d'isolation sacrificielle ou permanentesur les substrats avant le revêtement principal (photorésist, polyimide ou diélectrique). Il empêche la contamination croisée, réduit la formation de cordons de bord et protège les mandrins de rotation des attaques de solvants.Contenu solide, système de solvant et méthode de décapage personnalisablesdisponible pour différentes tailles de plaquettes (2″-12″) et couches de dispositifs.
Paramètres techniques
| Paramètre | Valeur/Plage |
|---|---|
| Contenu solide | 2% - 25% (personnalisable) |
| Viscosité (cP @25°C) | 3 - 150 (réglable) |
| Densité (g/cm³) | 0,85 - 1,10 |
| Plage de vitesse d'essorage | 500 - 6000 tr/min (24 stations synchronisées) |
| Épaisseur du film (après essorage) | 0,1 - 5,0 μm (accordable) |
| Température de séchage | 80 - 200°C (plaque chauffante ou four) |
| Temps de séchage | 30 à 180 secondes |
| Teneur en ions métalliques (Na, K, Fe) | < 10 ppb chacun (qualité de haute pureté) |
| Nombre de particules (≥0,2 μm) | < 30/mL |
| Méthode de décapage | Bande de solvant (NMP, PGMEA) ou décomposition thermique |
Applications
- Traitement des plaquettes semi-conductrices(front-end et back-end)
- Fabrication de MEMS et de capteurs
- Revêtement par rotation de semi-conducteurs composés (GaN, SiC)
- Phosphore LED et couche protectrice
- Centrifugeuses R&D avec une capacité de 24 positions
- Substrats personnalisés(verre, saphir, métal, films polymères)
Personnalisation
Nous proposons une personnalisation complète pour les spin coaters à 24 stations :
- Système de solvant(PGMEA, cyclohexanone, anisole, à base d'eau)
- Méthode de décapage(bande humide, incinération ou permanente sans rinçage)
- Effet de réduction des cordons de bord(angle de contact fuyant personnalisable)
- Compatibilité de taille de plaquette(2", 4", 6", 8", 12")
- Volume du lotde 500mL (R&D) à 20L (production)
- Faible teneur en métaux et en particulesqualités disponibles selon les spécifications du client
Caractéristiques
- ✅ Empêche la contamination du mandrin et du couvercle.
- ✅ Réduit la hauteur du cordon de 60 à 80 %
- ✅ Compatible avec les systèmes de distribution automatisée et EBR
- ✅ Aucun résidu de revêtement après un décapage approprié
- ✅ Résistant à la chaleur jusqu'à 200°C (pas de dégazage)
- ✅ Faible densité de défauts (<0,05 défauts/cm²)
- ✅ Peut être utilisé commecouche sacrificiellepour les processus de décollage
Assistance et services
- Optimisation des processuspour votre spin coater 24 stations (vitesse/accélération/rampe)
- Test de résidus gratuitsur votre type de plaquette
- Assistance à l'installation sur site ou à distance
- Développement de formules personnaliséesdans les 15 jours ouvrables
- Fiche de données de sécurité (FDS)+ guide de traitement
- Assistance technique 24h/24 et 7j/7pour lignes de production
Emballage et expédition
- Emballage standard: Flacons PEHD 1L, 4L, 20L (sac double)
- Emballage personnalisé: Fût de 200 L, IBC de 1 000 L ou cartouches de seringue scellées pour une distribution automatisée
- Expédition: Conditionné en salle blanche, classe 3 inflammable (si à base de solvant) ou non dangereux (à base d'eau)
- Délai de mise en œuvre: 5 jours pour le stock, 12-18 jours pour les lots personnalisés
- Stockage: 6-12 mois à 15-25°C dans le contenant d'origine scellé
Foire aux questions
Q1 : Ce revêtement barrière peut-il être utilisé sur toutes les centrifugeuses à 24 stations ?
R : Oui. Le fluide estpersonnalisablepour différents types de buses (statiques, à balayage linéaire ou pulvérisation) et conceptions de mandrins de rotation (à vide ou mécaniques). Fournissez votre modèle de coucheuse pour optimisation.
Q2 : Est-ce permanent ou amovible ?
R : Les deux. La version standard estdémontable(solvant ou cendres). Version permanente disponible pour les applications de couche de protection.
Q3 : Cela affectera-t-il l’adhérence de la résine photosensible ?
R : Non. Le revêtement barrière est conçu pour être entièrement éliminé ou pour avoir une énergie de surface adaptée. Des tests d'adhésion peuvent être réalisés.
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