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Système de traitement laser excimer industriel. L'intégration flexible de la ligne de production et des paramètres entièrement personnalisables.
Détails sur le produit:
| Lieu d'origine: | Chine |
| Nom de marque: | OSMANUV |
| Certification: | ISO9001 |
| Numéro de modèle: | Spécification |
Conditions de paiement et expédition:
| Quantité de commande min: | 1 ensemble |
|---|---|
| Prix: | Négociable |
| Détails d'emballage: | Emballage en bois |
| Délai de livraison: | 30-45 jours |
| Conditions de paiement: | T/T |
| Capacité d'approvisionnement: | Négociation |
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Détail Infomation |
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| Tension: | 220V/380V | Vitesse du convoyeur: | 25 ~ 80m / min |
|---|---|---|---|
| Puissance du moteur principal: | 1,5 kW | Largeur effective de nivellement: | 920 mm |
| Matériau de revêtement: | Divers matériaux | Type de lampe UV: | Lampe au mercure |
| Erreur de rembobinage et de pliage: | ±0,1mm | Type de séchage: | Séchage IR |
Description de produit
Système de traitement laser excimer industriel
Intégration flexible de la chaîne de production et paramètres entièrement personnalisables
Vue d'ensemble du produit
Ce système industriel de traitement au laser excimère est conçu pour la microfabrication de haute précision, le recuit des semi-conducteurs et le dessin de films minces.Il prend en charge l'intégration complète dans les lignes de production automatisées avec surveillance en temps réelLe système dispose d'une source excimère étanche au gaz avec une optique à longue durée de vie et un contrôle de processus assisté par l'IA.
Composition de la ligne de production
- Unité de source laser excimère
- Module de modélisation et d'homogénéisation du faisceau
- Unité de projection de masque ou de scanner XY à grande vitesse
- Robot de manutention de substrat en ligne (largeur de voie personnalisable)
- Système de gestion des gaz d'échappement
- PC de contrôle de processus avec gestionnaire de recettes
Paramètres techniques
| Paramètre | Plage de valeurs (norme) | Option de personnalisation |
|---|---|---|
| Longueur d'onde | Le nombre de fois où le produit est utilisé | Commutable à plusieurs longueurs d'onde (sur mesure) |
| Énergie maximale d'impulsion | 0.5 à 1200 mJ | Jusqu'à 2000 mJ (sur mesure) |
| Fréquence de pulsation | 1 à 6000 Hz | jusqu'à 10 kHz (sur mesure) |
| Puissance moyenne | 5 à 300 W | Mise à l' échelle personnalisée disponible |
| Taille du faisceau (sortie) | 10 × 10 mm | Faisceau rectangulaire jusqu'à 50 × 50 mm (sur mesure) |
| Homogénéité du faisceau | Le taux d'humidité de l'eau est de 0,3%. | Le nombre d'étoiles à l'intérieur de l'appareil doit être inférieur à ± 1%. |
| Intégration de la ligne de production | Les États membres doivent communiquer à l'autorité compétente les informations suivantes: | Protocole PLC personnalisé (personnalisé) |
Applications
- Le recuit au silicium pour affichage avancé (LTPS)
- MEMS et découpage des plaquettes à semi-conducteurs
- Activation de la surface du polymère
- Micro-structuration des dispositifs médicaux
- Perçage de PCB flexibles
Options de personnalisation
Nous offronspersonnalisation complèteLa méthode de refroidissement (air/eau/refroidisseur) et le protocole de communication de la ligne de production.Des bras de livraison de faisceau personnalisés et des boîtiers de classe 1 sont également disponibles sur demande..
Principales caractéristiques
- > 2000 heures de durée de vie du gaz (mélange de gaz optimisé)
- Stabilisation de l'énergie intégrée (réaction en temps réel)
- Diagnostic à distance et maintenance prédictive
- Faible coût de possession (LOO) avec mode d'économie de gaz par contournement
- Conception modulaire compacte pour une reconfiguration rapide de la ligne
Soutien et services
- Assistance technique 24 heures sur 24 et 7 jours sur 7 (téléphone/télécommande)
- Installation sur site et intégration de la ligne de production
- Formation personnalisée pour vos ingénieurs
- Garantie prolongée jusqu'à 5 ans
- Programme de réapprovisionnement en gaz et de rénovation de l'optique
Emballage et expédition
- Fermé dans un récipient étanche à l'humidité
- Boîte optique scellée sous vide
- Transport aérien ou maritime avec suivi en temps réel
- Les caisses d'exportation répondent à la norme ISPM-15
Questions fréquemment posées
Q1: Pouvez-vous personnaliser la taille de la tête laser pour une ligne de production compacte?
Oui, la tête laser et la trajectoire de livraison du faisceau sontentièrement personnalisablepour s'adapter à des espaces de lignes étroits ou impairs.
Q2: Quel est le délai pour un système personnalisé?
Standard: 8 à 10 semaines; personnalisé: 12 à 14 semaines, y compris la validation du design.
Q3: Soutienez-vous l'intégration avec les MES existants?
Oui, nous fournissonsSECS/GEM, OPC-UA ou Modbus personnalisésles interfaces.
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