|
Détails sur le produit:
|
| Épaisseur du revêtement: | 180g ~ 400g | Marque d'onduleur: | Schneider |
|---|---|---|---|
| Donner la direction: | De gauche à droite. | Humidité: | 50 ± 10 °C |
| Précision de l'enregistrement: | ± 0,15 mm | rapport d'essai de machines: | Fourni |
| Vitesse moyenne: | 0 ~ 20 m/min | Largeur de revêtement maximum: | 790*1150mm |
| Mettre en évidence: | Le revêtement automatique à rotation à 12 stations,machine de dépôt de films à semi-conducteurs,équipement de revêtement par rotation en pérovskite |
||
Ce revêtement à rotation de 12 stations est conçu pourdépôt de films minces à haut débitChaque station offre des réglages indépendants de vitesse, d'accélération et de temps de revêtement avec un contrôle en boucle fermée atteignant une précision de ± 1 rpm.Le nombre de stations, la méthode de distribution, la taille de la chambre et le système d'échappement sont tous personnalisables, ce qui le rend idéal à la fois pour la R & D et la production pilote.
| Paramètre | Valeur / plage | Option de personnalisation |
|---|---|---|
| Nombre de stations | 12 | Personnalisable: 4 / 8 / 12 / 16 stations |
| Plage de vitesse | 100 à 10 000 tr/min | Étendue jusqu'à 12 000 tr/min |
| Plage d'accélération | 50 à 10 000 tr/s | Personnalisable |
| Précision de la vitesse | ± 1 tours par minute | - |
| Taille maximale du substrat | un diamètre de 150 mm | Personnalisable jusqu'à 200 mm |
| Matériau de la chambre | PP / PTFE / 316L en acier inoxydable | Matériaux de contact personnalisables |
| Contrôle de l'environnement | Évacuation et purge disponibles | Module de purge N2 personnalisable |
| Le stockage des programmes | Plus de 1000 recettes | - |
| Énergie électrique | AC 220V / 50Hz | Personnalisable à 110V / 60Hz |
Personne à contacter: Mr. Zhang guoxin
Téléphone: +86 13926890692
Télécopieur: 86-769-88120350